Introducción a los MEMS y dispositivos semiconductores
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MEMS: Concepto
MEMS: Micro-Electro-Mechanical Systems
MOEMS: Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems
Los MEMS (Micro-Electro-Mechanical Systems) son una tecnología de procesos que permite crear dispositivos o sistemas integrados diminutos, los cuales combinan componentes eléctricos y mecánicos. Se fabrican mediante sofisticadas manipulaciones de sustratos de silicio y otros materiales, utilizando procesos de micromecanizado. Son de tamaño micrométrico y tienen la capacidad de medir, controlar y actuar a escala microscópica, generando efectos a escala macroscópica.
Componentes:
En su forma más general, los MEMS consisten en:
- Microestructuras mecánicas
- Microsensores
- Microactuadores
- Microelectrónica, todos ellos integrados en el mismo chip de silicio.